Rango de viaje
20mm
Resolución
0,125 µm
Repetibilidad
<1 μm
Rectitud
<2 μm
Paralelismo
<5 μm
Cabeceo
10″(50 μrad)
Guiñando
Velocidad máxima
5mm/segundo
Capacidad de carga
10 kilos
Peso
1,5 kilos